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SEMI S2评估前期文件资料核查清单
说明：SEMI S2是EHS评估，无证书；清单用于文件阶段 Design Review，用于提前自查，减少NCR。 适用：半导体工艺/量测/化学品供给设备；条款对标S2章节，每项标注【资料名称】+【核查要点】
0. 项目基础信息（前置核查）
评估范围定义文件：整机 / 子系统、包含模块、排除模块、边界（公用工程、厂务接口）
标准版本确认：SEMI S2-0724/S2-0821（与Fab客户确认版本）
设备型号、版本、序列号范围、硬件版本、软件版本清单
评估边界说明：厂务提供部分（CDA、冷却水、电源、排风）不属于设备本体的免责说明
适用配套标准确认：SEMI S10（风险评估）、SEMI S8（人体工学）、S30（含能材料，如适用）
1. 风险评估文件（SEMI S2+SEMI S10）
危险识别与风险评估报告（按S10方法论：HAZOP/JSA/FMEA）
所有危险场景识别：机械、电气、化学、火灾、压力、辐射、噪声、热、地震、人为误操作
风险矩阵，风险等级判定，风险降低措施（消除→防护→警告→程序）层级
残余风险汇总清单
危险介质清单（化学品、易燃/腐蚀性/有毒气体、高压介质、制冷剂）
MSDS/SDS所有介质，最新版本
含能材料评估（SEMI S30，如适用：氧化剂、自燃、爆炸前驱物）
故障模式评估：安全相关控制、联锁失效后果分析
2. 安全概念&安全功能（EMO、联锁、旁路、LOTO，S2重点）
安全概念说明文档（Safety Concept）
EMO紧急停机系统说明
EMO点位清单、布局图
EMO动作逻辑图、断电/断气/切断化学品的响应说明
EMO故障安全设计证明（失安全态）
安全联锁清单（全部联锁：门联锁、压力联锁、温度联锁、流量联锁等）
联锁逻辑图、联锁触发后的动作
联锁旁路管理程序：旁路权限、记录、恢复机制、警示
危险能量隔离LOTO（锁定挂牌）
所有能量源清单：电、气、液压、真空、弹簧势能、蓄能
LOTO点位图、LOTO操作程序
储能释放方案（电容器、压力容器、弹簧）
3. 电气安全文件
电气原理图、安全回路图、安全 PLC/安全继电器图纸
电气部件BOM（安全部件：急停、安全门开关、安全控制器）
绝缘、接地、保护等电位方案
过流保护、短路保护、漏电保护设计说明
高压系统评估文档（S2-0724新增重点，≥1kV）
高压防护、绝缘距离、警示、联锁、隔离程序
电气部件证书：UL/CE等元件证书（安全元件）
电气安全测试报告（绝缘电阻、接地连续性、耐压测试）
4. 机械安全文件
整机机械装配图、运动机构图纸
运动部件风险评估：夹点、剪切点、卷入、坠落、弹射
防护装置设计说明：固定防护、可移动防护、联锁防护
起重/铰链载荷评估（S2-0724新增），盖板/门体载荷计算
抗震评估文件（地震载荷分析，Fab通常要求）
结构强度计算书（承压件、支架、悬臂结构，如有）
5. 化学品、压力、排风与泄漏防护
流体管路P&ID图（工艺气、化学品、冷却水、真空）
压力部件清单，压力保护（安全阀、爆破片、压力联锁）
泄漏收集、二次围堤/接液盘设计说明、容积计算
排风系统设计：排风流量、换气次数、接口要求、排风失效联锁
化学品加热系统评估（过热、干烧保护）
废液/废气排放说明，与厂务接口边界
6. 防火与防爆
易燃物料存量评估
火灾检测（烟感 / 温感，如有）、灭火系统说明
防火分隔、阻燃材料BOM，材料阻燃等级证明
防爆评估（如存在爆炸性混合物）
7. 辐射、激光、噪声、热
激光：激光等级评估、激光防护、防护窗、警示标签、 interlock
电离辐射（X射线等，如有）：辐射评估、屏蔽计算、剂量评估
非电离辐射（磁场、射频）评估报告
噪声评估文件，噪声预测/实测报告、降噪措施
高温表面评估，防烫伤防护
8. 人体工学（SEMI S8，通常和S2打包审核）
S8人体工学评估报告
操作高度、维修空间、重物搬运、可视性、操作力评估
维修可达性评估，维修操作风险
9. 安全标识、标签、铭牌
整机铭牌图纸
全部安全标签清单+标签图纸（警告、危险、强制、禁止）
标签位置布置图，多语言要求（Fab一般英文，部分中文）
核查要点：标签耐久性、符合 ANSI Z535/ISO 7010
10. 用户文档（手册，S2强制要求）
操作手册Operation Manual
维护手册Maintenance Manual
安全章节（独立安全章节，S2强制）
危险说明、残余风险、防护要求
EMO、联锁、LOTO操作说明化学品、辐射、激光安全说明
故障处理、应急程序
个人防护PPE要求备件手册、安全部件更换说明
新版S2-0724：设备退役、拆除、无害化处置章节（重点新增，极易漏）
11. 软件安全（安全相关软件）安全PLC/安全控制器软件版本、软件变更控制记录
安全功能软件验证报告
软件故障、内存失效、通讯失效的安全响应说明
12. 质量/变更管理文件
设备变更控制流程（硬件/软件变更评估机制）安全部件变更管控说明
测试记录模板，出厂安全功能测试SOP